Metal Grain Granularity Study on a Gate-All-Around Nanowire FET
- Nagy, D.
- Indalecio, G.
- García-Loureiro, A.J.
- Elmessary, M.A.
- Kalna, K.
- Seoane, N.
ISSN: 0018-9383
Año de publicación: 2017
Volumen: 64
Número: 12
Páginas: 5263-5269
Tipo: Artículo
ISSN: 0018-9383
Año de publicación: 2017
Volumen: 64
Número: 12
Páginas: 5263-5269
Tipo: Artículo