Metal Grain Granularity Study on a Gate-All-Around Nanowire FET

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Zeitschrift:
IEEE Transactions on Electron Devices

ISSN: 0018-9383

Datum der Publikation: 2017

Ausgabe: 64

Nummer: 12

Seiten: 5263-5269

Art: Artikel

DOI: 10.1109/TED.2017.2764544 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus