Laser Micromachining and Characterization of Metal-on-Glass High Density Pitch Adapters

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Revista:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Ano de publicación: 2015

Volume: 24

Número: 5

Páxinas: 1479-1486

Tipo: Artigo

DOI: 10.1109/JMEMS.2015.2413051 GOOGLE SCHOLAR
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