Laser Micromachining and Characterization of Metal-on-Glass High Density Pitch Adapters

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Zeitschrift:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Datum der Publikation: 2015

Ausgabe: 24

Nummer: 5

Seiten: 1479-1486

Art: Artikel

DOI: 10.1109/JMEMS.2015.2413051 GOOGLE SCHOLAR
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