Model of linewidth for laser writing on a photoresist
- Salgueiro, J.R.
- Moreno, V.
- Liñares, J.
ISSN: 2155-3165, 1559-128X
Ano de publicación: 2002
Volume: 41
Número: 5
Páxinas: 895-901
Tipo: Artigo
Revista:
Applied Optics