Model of linewidth for laser writing on a photoresist

  1. Salgueiro, J.R.
  2. Moreno, V.
  3. Liñares, J.
Zeitschrift:
Applied Optics

ISSN: 2155-3165 1559-128X

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 41

Nummer: 5

Seiten: 895-901

Art: Artikel

DOI: 10.1364/AO.41.000895 GOOGLE SCHOLAR