Accurate interferometric system to perform the substrate focusing and alignment in laser writing processes

  1. Salgueiro, J.R.
  2. Román, J.F.
  3. Moreno, V.
Revista:
Journal of Modern Optics

ISSN: 1362-3044,  0950-0340

Año de publicación: 1997

Volumen: 44

Número: 6

Páginas: 1065-1072

Tipo: Artículo

DOI: 10.1080/09500349708230719 GOOGLE SCHOLAR
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