Accurate interferometric system to perform the substrate focusing and alignment in laser writing processes

  1. Salgueiro, J.R.
  2. Román, J.F.
  3. Moreno, V.
Zeitschrift:
Journal of Modern Optics

ISSN: 1362-3044 0950-0340

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 44

Nummer: 6

Seiten: 1065-1072

Art: Artikel

DOI: 10.1080/09500349708230719 GOOGLE SCHOLAR