Self-forces in 3D finite element Monte Carlo simulations of a 10.7 nm gate length SOI FinFET
- Aldegunde, M.
- Kalna, K.
Konferenzberichte:
International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD
ISBN: 9781479952885
Datum der Publikation: 2014
Seiten: 185-188
Art: Konferenz-Beitrag