Pelgrom-Based Predictive Model to Estimate Metal Grain Granularity and Line Edge Roughness in Advanced Multigate MOSFETs

  1. Fernandez, J.G.
  2. Seoane, N.
  3. Comesana, E.
  4. Garcia-Loureiro, A.
Zeitschrift:
IEEE Journal of the Electron Devices Society

ISSN: 2168-6734

Datum der Publikation: 2022

Ausgabe: 10

Seiten: 953-959

Art: Artikel

DOI: 10.1109/JEDS.2022.3214928 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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