Atomic layer deposition of Cu(i) oxide films using Cu(II) bis(dimethylamino-2-propoxide) and water

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Revista:
Dalton Transactions

ISSN: 1477-9234,  1477-9226

Año de publicación: 2017

Volumen: 46

Número: 18

Páginas: 5790-5795

Tipo: Artículo

DOI: 10.1039/C6DT02572B GOOGLE SCHOLAR

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