MC/DD study of metal grain induced current variability in a nanoscale InGaAs FinFET
- Seoane, N.
- Aldegunde, M.
- Kalna, K.
- Garcia-Loureiro, A.J.
Konferenzberichte:
International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD
ISBN: 9781479952885
Datum der Publikation: 2014
Seiten: 253-256
Art: Konferenz-Beitrag