Interferometric monitoring of surface shaping processes in microlenses produced by melting photoresist

  1. Mancebo, T.
  2. Bara, S.
Zeitschrift:
Journal of Modern Optics

ISSN: 1362-3044,  0950-0340

Datum der Publikation: 1998

Ausgabe: 45

Nummer: 5

Seiten: 1029-1037

Art: Artikel

DOI: 10.1080/09500349808230895 GOOGLE SCHOLAR
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