Multi-Subband Interface Roughness Scattering using 3D Finite Element Monte Carlo with 2D Schodinger Equation for Simulations of sub-16nm FinFETs

  1. Nagy, Daniel
  2. Elmessary, Muhammad A.
  3. Aldegunde, Manuel
  4. Lindberg, Jari
  5. Garcia-Loureiro, Antonio J.
  6. Kalna, Karol
Colección de libros:
2015 INTERNATIONAL CONFERENCE ON SIMULATION OF SEMICONDUCTOR PROCESSES AND DEVICES (SISPAD)

ISSN: 1946-1569

ISBN: 978-1-4673-7860-4

Año de publicación: 2015

Páginas: 377-380

Congreso: International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)

Tipo: Aportación congreso