Estudio de las caracteristicas estructurales de peliculas delgadas de YBCO crecidas por PLD

Zusammenfassung

En este trabajo se recoge los resultados correspondientes a propiedades estructurales de peliculas delgadas de YBCO depositadas por la tecnica PLD (Depositos por pulsos laser) y sometidas algunas de ellas a procesos de grabado. En concreto se estudia la concentración de oxigeno, la orientación de losa granos, existencia de impurezas o defectos, etc... Se emplea para ello basicamente la tecnica micro-raman, tecnica que permite un amplio analisis de dichas propiedades estructurales, como se refleja en el trabajo. De los resultados obtenidos queda claro que los procesos de deposito de este tipo de peliculas son muy delicados y deben optimizarse al maximo, sobre todo de cara a limitar las inhomogeneidades estructurales, que aparecen en gran medida en las muestras y que pueden dar lugar a malas propiedades de transporte. La tecnica micro-raman permite ademas estudiar las modificaciones que se producen en las areas proximas a los bordes de grabado encontrandose notables diferencias en muestras grabadas por ablación laser o grabado ionico respecto a muestras grabadas mediante ataques quimicos (EDTA). Otras tecnicas empleadas fueron difracción de Rayos-X, RBS y tecnicas topograficas (AFM y PSM) que permitieron completar el estudio realizado.