3D simulations of random dopant induced threshold voltage variability in inversion-mode In0.53Ga0.47As GAA MOSFETs

  1. Seoane, N.
  2. Garcia-Loureiro, A.
  3. Comesaña, E.
  4. Valin, R.
  5. Indalecio, G.
  6. Aldegunde, M.
  7. Kalna, K.
Konferenzberichte:
International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD

ISBN: 9780615717562

Datum der Publikation: 2012

Seiten: 392-395

Art: Konferenz-Beitrag