Study of strained effects in nanoscale GAA nanowire FETs using 3D Monte Carlo simulations

  1. Elmessary, M.A.
  2. Nagy, D.
  3. Aldegunde, M.
  4. Garcia-Loureiro, A.J.
  5. Kalna, K.
Konferenzberichte:
European Solid-State Device Research Conference

ISSN: 1930-8876

ISBN: 9781509059782

Datum der Publikation: 2017

Seiten: 184-187

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/ESSDERC.2017.8066622 GOOGLE SCHOLAR