Fabrication of high-density pitch adapters by laser ablation

  1. Rey-García, F.
  2. Bao-Varela, C.
  3. Pérez, E.
  4. Rodríguez, P.
  5. Gallas, A.
  6. De La Fuente, G.F.
Konferenzberichte:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 1996-756X 0277-786X

ISBN: 9781628410815

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 9133

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1117/12.2051502 GOOGLE SCHOLAR