Statistical study of the influence of LER and MGG in SOI MOSFET

  1. Indalecio, G.
  2. Aldegunde, M.
  3. Seoane, N.
  4. Kalna, K.
  5. García-Loureiro, A.J.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 1361-6641,  0268-1242

Ano de publicación: 2014

Volume: 29

Número: 4

Tipo: Artigo

DOI: 10.1088/0268-1242/29/4/045005 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus