System for laser writing to lithograph masks for integrated optics
- Salgueiro, J.R.
- Roman, J.F.
- Moreno, V.
ISSN: 0091-3286
Año de publicación: 1998
Volumen: 37
Número: 4
Páginas: 1115-1123
Tipo: Artículo
Revista:
Optical Engineering